大幅减少萤石用量！台积电与HF供给商用磷肥废料消费电子级 ...(1/2)

据了解，为确保半导体制造工艺中的关键化学品氢氟酸（HF）的稳定和可持续供给，台积电与HF供给商协作，用磷肥废料替代萤石，在不影响原有工艺质量的状况下胜利消费HF。截至2023年2月，台积电有两家晶圆厂已应用这种环保氢氟酸，减少了萤石的运用量，二氧化碳排放量减少了12吨，其他台积电晶圆厂往常也在试消费中。台积电估量在一切晶圆厂引入这种环保氢氟酸后，可减少12万吨以上的二氧化 ... [查看原文]

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