爱思强推出全新Micro LED量产设备

1月26日，AIXTRON SE发布新闻稿，宣布向市场推出首款全自动AsP平台——G10-AsP。新系统满足了Micro LED和激光设备范畴不时增长的需求。作为业内首个系统，G10-AsP可完成稳健的大批量消费，满足十分高且复杂的请求。

AIXTRON SE首席执行官兼总裁Felix Grawert博士表示：“Micro LED将彻底改动显现器世界，由于它们具有更好的耐用性、更长的运用寿命、更好的图像质量和极低的能耗。但是，这项创新技术抵消费过程提出了应战，由于它需求最低的缺陷水平和最高的平均率。我们全新的G10-AsP提供了业界首个全自动流程，为一切这一切提供了答案。新系统完成了同类产品中最高的吞吐量，具有史无前例的平均性和缺陷水平。”

具有最严厉资料请求且芯片尺寸≤10微米的Micro LED真正量产初次成为理想。此外，G10-AsP还满足大批量消费InP（磷化铟）激光器和VCSEL（垂直腔面发射激光器）的复杂请求。

新平台G10-AsP将于2023年2月1日在美国旧金山的Photonic West展会期间正式推出。在这次活动中，AIXTRON的专家将展示新系统：他们将解释新平台中包含的一切创新，以及它将如何提供同类产品中最高的吞吐量并最大限度地进步洁净室应用率。

新型全自动G10-AsP是投放市场的最大的200mm AsP间歇式反响器，配备原位清洁和自动卡匣式 (C2C) 晶圆传输技术。前端初次能够配备SMIF（规范机械接口）吊舱，以进一步减少外延晶圆在室内环境的裸露。借助内置的原位清洁功用，用户能够依据需求重新设置腔室条件——无论是在满足最苛刻请求的每个工艺运转之后，还是在受益于最高吞吐量的消费活动之后。该平台基于胜利的Planetary Reactor（行星式反响器）?技术，这项技术将多晶圆间歇式反响器概念与单晶圆旋转相分离，以确保最高的晶圆平均性。

Micro LED不只将用于下一代电视显现器，还将用于未来的智能手表、智能手机、增强理想 (AR) 投影或汽车显现器。剖析人士估量，该范畴将在未来五到十年内成为LED最大的市场。

要使先进的Micro LED以及InP和VCSEL应用抵达更高水平的一大应战依旧是平均性：必须在大批量消费过程中完成优化的片内平均性和片间平均性。新的G10-AsP为这些值设定了新规范，与前代产品相比性能进步了两到三倍。因而，该全自动平台将开启消费Micro LED和光子器件的新时期，抑止以前障碍大范围消费的主要障碍。

红外激光器和探测器等光子器件已在市场上得到普遍采用。在电信范畴，它们为管理不时增长的数据量奠定了基础，而这些数据量与不时进步的带宽请求相关联。此外，它们还支持3D传感（例如用于面部辨认）和用于自动驾驶的先进技术：随着这项技术的不时展开，光束必须映射更大更广的区域。这需求更严厉的波长公差，这转化为对外延层堆积十分严厉的请求。新的G10-AsP能够经过提供外延工艺的显著精密控制来满足这一需求，进步资料精度，减少缺陷，从而进步产量和抵达更好的平均性。

在Micro LED的消费中，进步平均性是经济可行的大范围消费的先决条件：Micro LED显现器依赖于特殊的印章或矩阵转移工艺，其中数千个尺寸仅为几微米的LED芯片（阵列）被拾取并转移。由于整个像素阵列都是从外延晶圆基板转移而来的，因而需求简直圆满的平均性——能够预想，没人会买显现屏一角颜色与另一角不同的智能手表或智能手机。（LEDinside Johnson编译）

转载请标注来源！更多LED资讯敬请关注官网(www.ledinside.cn)或搜索微信公众账号(LEDinside)。